産品(pǐn)時間：2025-12-13
FS4001系列小流(liu)量氣體質量(liang)流量傳感器(qi)是專門爲各(ge)類小流⁉️量💋氣(qì)體的測量和(he)過程控制而(ér)設計的。這一(yi)系列傳感器(qi)均采用本公(gōng)司💜自主研發(fa)的微機電系(xi)統（MEMS）流量傳🧡感(gǎn)芯片🐇來制作(zuo)，适用于各類(lei)清潔氣體。*的(de)封裝技術使(shi)之可用于各(ge)類管徑🔴，成本(běn)低、易安裝、不(bu)需要溫度壓(yā)力🈲補償，可替(tì)代容積式或(huo)壓差式的傳(chuan)統流量傳感(gan)器💛。
産品(pǐn)簡介：
FS4001系列小(xiao)流量氣體質(zhi)量流量傳感(gǎn)器 是專門爲(wèi)各類小流量(liàng)氣體的測量(liàng)和過程控制(zhì)而設計🛀的。這(zhè)一系列傳感(gǎn)器均采用本(běn)公司自主研(yan)發✨的微✨機電(dian)系統（MEMS）流量傳(chuan)感芯片來制(zhi)作，适用于各(ge)類清潔氣體(ti)。*的封裝技術(shu)使之可👉用于(yú)各類管徑，成(chéng)本🐕低、易安裝(zhuang)💃🏻、不需要溫度(dù)壓力補償，可(ke)替代容積式(shì)或壓差式的(de)傳統流量傳(chuán)感器。
産品特(te)點
FS4001系列(liè)小流量氣體(ti)質量流量傳(chuan)感器
靈敏度(du)高,有小的始(shi)動流量傳感(gan)器芯片采用(yong)熱質🐅量流量(liàng)計量,無需溫(wen)度壓力補償(chang),保證了傳感(gan)器的高精度(dù)計量在單個(gè)芯片上實現(xiàn)了多傳感器(qi)集成🛀🏻,使傳感(gan)器的量程比(bǐ)大大提高☔傳(chuán)感器的零點(diǎn)穩定度高全(quan)量程高穩定(ding)性全量程高(gao)精确度和優(yōu)良的💯重複性(xing)低功耗低壓(ya)損響應時間(jian)快
主要參數(shu)：
|
性能參數 |
FS4001 |
單(dan)位 |
|
|
通 徑 |
1.0 |
1.8 |
|
|
大流(liu)量 |
30, 100, 200 |
|
SCCM |
|
|
≥100:1 |
|
|
|
% |
|||
|
|
|
||
|
零點輸出(chu)飄移 |
±30 |
mV |
|
|
|
|
|
|
|
響應時間(jian) |
|
||
|
|
|
||
|
輸(shū)出方式 |
|
|
|
|
|
350 |
pa |
|
|
工(gōng)作溫度 |
|
||
|
oC |
|||
|
工作濕(shī)度 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
空氣（或(huo)其他氣體），20oC，101.325kPa |
||
|
|
|
|
|
機械尺寸(cun)：
›
·
·