流量測量技(ji)術之 微小(xiao)流量 的測(cè)量     
半導體(ti)制造業、生物工(gong)程、精細化工等(deng)的興起，使流量(liang)測量向💛低端延(yan)伸，小流量計流(liú)量的要求在上(shang)世紀 80 ∽ 90 年代凸顯起來(lái)。何謂小流量 ? 業界尚無*的(de)定義和界限，小(xiao)流量因應用領(lǐng)域而異是一個(gè)⁉️模糊的概念。管(guan)道小流量測量(liang)體現于管徑小(xiǎo)和流速低兩個(gè)層次，就流程工(gōng)業而言，習慣上(shang) DN10 甚至 DN15 以下管徑流量(liang)測量稱之小流(liu)量測量，通常其(qi)流量值液體爲(wei) 1L/min 或 0.06m3/h 以(yǐ)下，流量儀表滿(mǎn)度流量時的流(liú)速低于 0.1m/s 。
1 、測量方法
傳統小流量(liang)測量技術節流(liu)差壓 ( 層流(liu) ) 法、浮子法(fǎ)和容積法等有(yǒu)了的改進，新測(ce)量技術如超聲(sheng)法、熱法、科裏奧(ào)利法等也有成(cheng)效地應于液體(ti)和氣體小🐉流量(liàng)測量。
2 、特點(dian)
微小流量(liàng)與一般流量測(cè)量相比較，具有(you)以下特點🈚。
1) 雷諾數低
一般管道流動(dong)均爲紊流流動(dòng)，流量儀表也是(shì)針對紊流流動(dong)态✍️設計的，而小(xiǎo)流量儀表因管(guan)徑小常處于層(ceng)流流動 ( 例(lì)如管内徑 6mm ，流量 0.05L/min ， Re 爲 1800 或層流(liu) / 紊流過渡(du)區流态流動，小(xiao)流量測量受使(shi)用中流體黏度(dù)變化🏃‍♂️影💁響頗大(dà)。
2) 要用實際(ji)使用流體校準(zhǔn)
液體流量(liàng)儀表一般用水(shuǐ)校準，氣體用空(kōng)氣校準。若知道(dao)實際測量流體(ti)與校準流體間(jian)某些物性不同(tóng)對示值有規律(lǜ)變化時，中大管(guan)徑流量儀表常(cháng)以适當系數修(xiū)正。但❄️有些小流(liú)量儀表受黏度(dù)等流體物🏃‍♀️性影(ying)響大，須以實際(ji)使用流體校準(zhǔn)。所幸流量小，用(yong)✉️實際使用流體(ti)校準難度不大(da)，但在作有害性(xing)流體校準時應(yīng)注意安全和環(huán)境污染。
3) 要(yào)求測量時防止(zhǐ)污染流體
若測量潔淨氣(qi)體和純水常不(bu)允許接觸流體(ti)的儀表零件材(cái)料❗析出離子，例(li)如半導體制備(bei)中儀表不🌂能用(yong)金屬和玻璃制(zhì)成，隻能用塑料(liào)。流體中也不允(yun)許混入活動件(jiàn)的磨蝕🏃‍♂️塵粒。流(liú)量儀表流通通(tong)道要盡可能簡(jian)單，不應有潴留(liu) ( 指液體在(zai)體内不正常地(dì)聚集停留 ) 部位，防止潴留(liu)介質變質。
4) 氣泡和塵埃附(fù)着的影響
因管徑小黏性(xìng)增加，液體中微(wei)細氣泡易在管(guǎn)系流動過程中(zhong)積聚變大，使測(ce)量時指示不穩(wěn)，度下降。流體中(zhong)🛀🏻塵埃附着測量(liàng)元件也要影響(xiang)測量值，例如浮(fú)子流量計的浮(fú)子上沉積有肉(ròu)眼覺察不出的(de)附着層也會影(ying)響示值。
5) 流(liú)量儀表品種使(shǐ)用上受到一定(ding)限制
在衆(zhong)多測量原理流(liu)量儀表中，因各(gè)種原因小流量(liàng)應用受到一些(xiē)限制，當前能應(yīng)用于小流量的(de)品種如表格所(suǒ)示